软氮化又称氮碳共渗或铁素体氮碳共渗。是在500~580℃下对钢件表面同时渗入氮、碳原子的化学表面热处理工艺。渗氮为主，渗入少量的碳。按共渗介质状态分为固体、液体及气体三类。气体法易实现机械化、自动化，处理质量稳定，但设备较复杂，适用于大批量生产。
为了缩短氮化周期，并使氮化工艺不受钢种的限制，近一二十年间在低温氮化的工艺基础上发展了软氮化工艺。软氮化实质上是以渗氮为主的低温碳氮共渗，钢中除了氮原子的渗入，同时，还有少量的碳原子渗入，其处理结果与前述一般气体氮相比，渗层硬度较低，脆性较小，故称为软氮化。
软氮化方法分为气体软氮化和液体软氮化两大类。目前国内生产中应用最广泛的是气体软氮化。气体软软氮化是在含有碳、氮原子的气氛中进行低温氮、碳共渗，常用用的共渗介质有尿素、甲酰胺和三乙醇胺，它们在软氮化温度下发生热分解反应，产生活性碳、氮原子。活性碳、氮原子被工件表面吸收，通过扩散渗入工件表层，从而获得以氮为主的碳氮共渗层。Fe-C-N系的共析温度约为565℃，在此温度时，氮在a-Fe中具有 溶解度所以气体软氮化温度常为560~570℃，氮化时间常为2~3h，因为超过2.5h，随 间延长，氮化层深度增加很慢。
